微导纳米公布“薄膜沉积设备”专利

天眼查APP显示，近日，江苏微导纳米科技股份有限公司申请的“薄膜沉积设备”专利公布。 摘要显示，本申请公开了一种薄膜沉积设备，涉及半导体工艺设备领域。薄膜沉积设备包括炉体和加热组件，炉体包括围成反应腔的侧壁，加热组件用于对反应腔进行加热，炉体还包括沿侧壁设置的进气通道和排气通道。进气通道具有进气入口和多个进气出口，进气入口与炉体外连通，多个进气出口与反应腔连通，多个进气出口沿炉体的高度方向排成至少一列。排气通道具有排气出口和排气入口，排气出口与炉体外连通，多个排气入口与反应腔连通。本申请的薄膜沉积设备的反应腔具有较少的死区，能够减少杂质颗粒影响薄膜质量的风险，并且有利于消除或缓解批量晶圆处理时不同晶圆上薄膜沉积厚度的差异，提高产品良率。