海纳股份公布“一种基于智能摄像的硅片背面氧化膜层识别方法及系统”专利

天眼查APP显示，近日，浙江海纳半导体股份有限公司申请的“一种基于智能摄像的硅片背面氧化膜层识别方法及系统”专利公布。 摘要显示，本发明公开了一种基于智能摄像的硅片背面氧化膜层识别方法及系统，包括图像采集模块、图像预处理模块、特征提取模块、膜层识别模块和结果输出模块，本发明涉及半导体检测技术领域。该基于智能摄像的硅片背面氧化膜层识别方法及系统，通过智能摄像技术对硅片背面进行图像采集，并利用图像处理和机器学习算法对采集到的图像进行分析，实现对硅片背面氧化膜层的准确识别，克服现有技术中检测效率低、准确性差和可能损伤硅片的问题。